光柵尺可用于高精度測(cè)量的機(jī)床和系統(tǒng)
更新時(shí)間：2020-07-22 點(diǎn)擊次數(shù)：5343次
光柵尺專(zhuān)為需要高精度測(cè)量的機(jī)床和系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。消除了由滾珠絲杠的溫度和運(yùn)動(dòng)特性引起的誤差和反向誤差。典型應(yīng)用包括：半導(dǎo)體行業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備，電路板裝配機(jī)，精密機(jī)床，高精度機(jī)床，測(cè)量機(jī)和比較器，測(cè)量顯微鏡和其他精密測(cè)量設(shè)備。
1.用于測(cè)量高速運(yùn)動(dòng)27m以?xún)?nèi)的位置。尺寸和安裝方法與lida400相同
2.測(cè)量步驟很小，精度和重復(fù)精度很高。掃描方式為干涉掃描，測(cè)量基準(zhǔn)為二相相位光柵。
3.光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)為suradur玻璃矩陣光柵，掃描方式為干涉掃描。其特點(diǎn)是精度高，重復(fù)精度高，安裝簡(jiǎn)單，開(kāi)關(guān)受限，歸零。lif481v的特殊類(lèi)型可以在10–7bar的真空環(huán)境中使用。
4.特別適用于運(yùn)動(dòng)速度高達(dá)10m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用。它支持各種安裝方法，并且易于安裝。根據(jù)應(yīng)用要求，冶金光柵的基質(zhì)可以是鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也可以限制開(kāi)關(guān)。
5.PP雙坐標(biāo)編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)為平面二位相光柵，掃描方式為干涉掃描。用于測(cè)量平面中的位置。
光柵尺包括柵尺或鋼帶和讀數(shù)頭。柵尺和讀數(shù)頭之間沒(méi)有機(jī)械接觸。開(kāi)口的線性柵尺的長(zhǎng)光柵直接固定在安裝面上，安裝表面的平整度直接影響線性柵尺的精度。
